製品
NEMST-PL2018 series
プラズマ分極装置
- 高密度プラズマ源、および分極電極のパフォーマンス監視機能
- 分極電極モジュールの X-Y-Z 駆動制御機能を搭載可能
- 自動ローディング・アンローディング用のアライメント機能を搭載可能
- 加熱機能を搭載可能
- 必要に応じて分極プラットフォームの回転機能を選択可能
- インピーダンス測定機能を搭載可能
- オゾン濃度監視機能を搭載
- 高効率かつ均一な分極（分極均一性は最大90%に到達）
- 対応基板サイズ：200 x 200 mm、650 x 750 mm、900 x 900 mm、1600 x 1400 mm 等
- 適用材料：PVDF Copolymer、PZT、PVDF 等
- センサーチップおよび指紋認証： 画面内指紋認証チップ関連応用、ヘルスケアおよびスポーツ・健康管理用センサーチップ製造プロセス
- 先端圧電および MEMS 技術： 各種圧電材料（センサー、アクチュエータ、RF MEMS）、PVDF、PZT 分極処理
- 放熱および冷却技術： 冷却装置関連応用